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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123298231.X (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 江苏东之创半导体科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区光福镇 光电路20号7号厂房二楼 (72)发明人 沈青 (51)Int.Cl. G01N 33/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种光伏硅片切割液浓度检测系统 (57)摘要 本实用新型公开了一种光伏硅片切割液浓 度检测系统, 包括底座, 底座一端上侧通过转轴 安装有立架, 立架内侧安装有丝杆, 丝杆上螺纹 滑动安装有滑座, 丝杆一端传动连接有第二电 机, 滑座一侧安装有电动推杆, 电动推杆一端安 装有检测杆和浓度传感器, 所述底 座另一端上侧 安装有定位支架且定位支架内部插设有检测试 管, 转轴上通过齿轮组传动连接有第一电机。 本 实用新型便于对检测杆进行高度和横向移动调 节处理, 而且转轴上通过齿轮组传动连接有第一 电机, 使得通过第一电机能够驱动检测杆水平旋 转调节处理, 从而便于将检测杆准确插入检测试 管内进行检测处 理, 自动化 程度高, 检测效率高。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217112246 U 2022.08.02 CN 217112246 U 1.一种光伏硅片切割液浓度检测系统, 其特征在于: 包括底座(1), 所述底座(1)一端上 侧通过转轴(8)安装有立架(9), 所述立架(9)内侧安装有丝杆(10), 所述丝杆(10)上螺纹滑 动安装有滑座(11), 所述滑座(11)一侧安装有电动推杆(12), 所述电动推杆(12)一端安装 有支撑板(13)安装有检测杆(14), 所述检测杆(14)下端安装有浓度传感器(15), 所述底座 (1)另一端上侧安装有定位支架, 且定位支架 内部插设有检测试管(5), 所述定位支架和检 测试管(5)外侧罩设有加热保温罩(6), 所述转轴(8)上通过齿轮组传动连接有第一电机 (25)。 2.根据权利要求1所述的一种光伏硅片切割液浓度检测系统, 其特征在于: 所述定位支 架包括设置在底 座(1)一侧的立杆(2), 所述立杆(2)上滑动安装有导向座(3)且两个所述导 向座(3)之间通过 连接轴安装有定位 座(4), 所述检测试 管(5)下部插设在定位 座(4)内。 3.根据权利要求2所述的一种光伏硅片切割液浓度检测系统, 其特征在于: 所述定位座 (4)设置成环形座, 且所述定位座(4)一侧安装有第一紧固螺栓(22), 所述导向座(3)一侧安 装有第二紧 固螺栓(21)。 4.根据权利要求1所述的一种光伏硅片切割液浓度检测系统, 其特征在于: 所述加热保 温罩(6)上侧中部开设有检测孔(20), 所述加热保温罩(6)底部一侧安装有热风机(7)。 5.根据权利要求1所述的一种光伏硅片切割液浓度检测系统, 其特征在于: 所述底座 (1)一侧开设有第一定位槽(18)和第二定位槽(19), 且所述第一定位槽(18)设置在检测杆 (14)正下 方。 6.根据权利要求1所述的一种光伏硅片切割液浓度检测系统, 其特征在于: 所述齿轮组 包括设置在第一电机(25)一端的主动齿轮(24), 所述转轴(8)上安装有从动齿轮(23), 且 所 述主动齿轮(24)和从动齿轮(23)啮合连接 。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217112246 U 2一种光伏硅片切割液浓度检测系统 技术领域 [0001]本实用新型涉及光伏硅片切割液生产技术领域, 具体是一种光伏硅片切割液浓度 检测系统。 背景技术 [0002]光伏半导体硅片生产时, 是通过金刚线配合切割液将硅锭分切成一定厚度的硅 片。 因此, 切割液的性能对 金刚线切割硅锭的效率、 精度及金刚线的使用寿命等具有至 关重 要的影响。 [0003]由于切割液是由润滑剂、 润湿剂、 消泡剂、 杀菌剂、 PH调节剂、 亲水性纳 米二氧化硅 颗粒及水等多种组分混合搅拌获得, 其浓度对切割性能影响至关重要, 因此在混合均匀后 需要对其浓度进行检测以确保后续 光伏硅片切割成型时的切割效率及精度。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种光伏硅片切割液浓度检测系统, 以实现对混合后 切割液浓度的高效高精度检测。 [0005]为实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种光伏硅片切割液浓度检测 系统, 包括底座, 所述底座一端上侧 通过转轴安装有立架, 所述立架内侧安装有丝杆, 所述 丝杆上螺纹滑动安装有滑座, 所述丝杆一端传动连接有第二电机, 所述滑座一侧 安装有电 动推杆, 所述电动推杆一端安装有支撑板安装有检测杆, 所述检测杆下端安装有浓度传感 器, 所述底座另一端 上侧安装有定位支架, 且定位支架内部插设有检测试管, 所述定位支架 和检测试 管外侧罩设有加热保温罩, 所述 转轴上通过齿轮组传动连接有第一电机 。 [0006]进一步的, 所述定位支架包括设置在底座一侧的立杆, 所述立杆上滑动安装有导 向座, 且两个导向座之间通过 连接轴安装有定位 座, 且检测试 管下部插设在定位 座内。 [0007]进一步的, 所述定位座设置成环形座, 且定位座一侧安装有第一紧固螺栓, 所述导 向座一侧安装有第二紧 固螺栓。 [0008]进一步的, 所述加热保温罩上侧中部开设有检测孔, 所述加热保温罩底部一侧安 装有热风机 。 [0009]进一步的, 所述底座一侧开设有第一定位槽和第二定位槽, 且第一定位槽设置在 检测杆正下 方, 所述底座 一端安装有PLC控制柜。 [0010]进一步的, 所述齿轮组包括设置在第一电机一端的主动齿轮, 所述转轴上安装有 从动齿轮, 且主动齿轮和从动齿轮啮合连接 。 [0011]与现有技 术相比, 本实用新型的有益效果是: [0012]1、 本实用新型通过设有的丝杆、 滑座和电动推杆, 便于对检测杆进行高度和横向 移动调节, 而且转轴 上通过齿轮组传动连接有第一电机, 使得通过第一电机能够驱动检测 杆水平旋转调节, 从而便于将 检测杆准确插入检测试管内进 行检测, 自动化程度高, 检测效 率高;说 明 书 1/3 页 3 CN 217112246 U 3
专利 一种光伏硅片切割液浓度检测系统
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