(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111635507.0 (22)申请日 2021.12.2 9 (71)申请人 深圳中科飞测科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区大浪街 道同胜社区上横朗第四工业区2号 101、 201、 3 01 (72)发明人 陈鲁　肖遥　佟异　张嵩　 (74)专利代理 机构 深圳鼎合诚知识产权代理有 限公司 4 4281 代理人 彭家恩 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/62(2017.01) G06T 7/66(2017.01) (54)发明名称 缺陷检测方法、 装置、 设备及计算机可读存 储介质 (57)摘要 本申请公开了缺陷检测方法、 装置、 设备及 计算机可读存储介质， 缺陷检测设备获取待测件 的检测图像； 确定检测图像的待测区域； 对待测 区域进行二值化处理， 获取二值图像； 确定二值 图像中边缘区域， 边缘区域包括多个待测区域的 白色像素点； 沿第一方向或沿第二方向对边缘区 域的待测像素点进行检测； 确定边缘区域上每一 列或每一行的特征点， 当特征点的数量大于或等 于预设数量时， 确定特征点为待测件的缺陷。 通 过确定晶圆上待测区域的边缘区域， 并确定边缘 区域上的特征点， 再根据特征点确定待测件的缺 陷， 能够准确的通过特征点的位置确定待测件上 的缺陷类型， 提高对待测件的检测准确率， 避免 由于检测准确率低而进行复检， 提高待测件的检 测效率。 权利要求书2页 说明书12页 附图3页 CN 114332012 A 2022.04.12 CN 114332012 A 1.一种缺陷检测方法， 其特 征在于， 所述 缺陷检测方法包括： 获取待测件的检测图像； 确定所述检测图像的待测区域； 对所述待测区域进行二 值化处理， 获取二 值图像； 确定所述 二值图像中所述待测区域的边 缘区域； 以所述边缘区域的像素点为中心， 以预设检测长度为半径， 沿第一方向或沿第二方向 对所述边缘区域的待测像素点进行检测； 确定所述边缘区域上每一列或每一行的特征点， 当所述特征点的数量大于或等于预设 数量时， 确定所述特 征点为所述待测件的缺陷。 2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法， 其特征在于， 所述对所述待测区域进行二值化 处理， 获取二 值图像， 包括： 确定所述待测区域的灰度直方图； 根据所述灰度直方图， 确定二 值化灰度值； 根据所述 二值化灰度值对所述待测区域进行二 值化处理， 获取二 值图像。 3.根据权利要求2所述的缺陷检测方法， 其特征在于， 所述根据所述灰度直方图， 确定 二值化灰度值， 包括： 确定所述灰度直方图中灰度值小于预设灰度值的灰度值分布； 确定所述灰度值小于预设灰度值的像素点数量最多的对应的灰度值， 作为二值化灰度 值。 4.根据权利要求1所述的缺陷检测方法， 其特征在于， 所述对所述待测区域进行二值化 处理， 获取二 值图像， 之后还 包括： 对所述二值图像进行 连通区域分析； 当任一像素点与相邻像素点形成的连通区域的面积小于预设面积时， 对所述连通区域 进行去除。 5.根据权利要求1所述的缺陷检测方法， 其特征在于， 所述确定所述二值图像中所述边 缘区域， 之后还 包括： 根据所述 边缘区域及预设长度， 确定所述 二值图像的检测区域。 6.根据权利要求1所述的缺陷检测方法， 其特征在于， 所述沿第 一方向或沿第 二方向对 所述边缘区域的待测像素点进行检测， 包括： 确定所述 边缘区域上 所述待测像素点的检测方向； 获取所述检测长度； 以所述待测像素点 为中心， 以所述检测长度为半径确定所述待测像素点的检测范围； 根据所述检测范围对所述 边缘区域进行检测。 7.根据权利要求1所述的缺陷检测方法， 其特征在于， 所述获取所述边缘 区域上每一列 或每一行的特 征点， 包括： 确定所述 边缘区域上每一列或每一行的跳变点； 当所述跳变点与所述边缘区域的距离大于或等于预设长度时， 确定所述跳变点为所述 特征点。 8.一种缺陷检测装置， 其特 征在于， 所述 缺陷检测装置包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114332012 A 2获取单元， 用于获取待测件的检测图像； 确定单元， 用于确定所述检测图像的待测区域； 图像处理单元， 用于对所述待测区域进行二 值化处理， 获取二 值图像； 所述确定单 元， 还用于确定所述 二值图像中所述待测区域的边 缘区域； 检测单元， 用以所述边缘区域的像素点为中心， 以预设检测长度为半径， 沿第 一方向或 沿第二方向对所述 边缘区域的待测像素点进行检测； 所述确定单元， 还用于确定所述边缘区域上每一列或每一行的特征点， 当所述特征点 的数量大于或等于预设数量时， 确定所述特 征点为所述待测件的缺陷。 9.一种缺陷检测设备， 其特征在于， 包括处理器、 存储器、 收发器， 以及一个或多个程 序， 所述一个或多个程序被存储在所述存储器中， 并且被配置由所述处理器执行， 所述程序 包括用于执 行如权利要求1 ‑7任一项所述的方法中的步骤的指令 。 10.一种计算机可读存储介质， 其特征在于， 存储用于电子数据交换的计算机程序， 其 中， 所述计算机程序使得计算机执 行如权利要求1 ‑7任一项所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114332012 A 3