(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111681769.0 (22)申请日 2021.12.3 0 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 201315 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 胡向华　何广智　 (74)专利代理 机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 代理人 周耀君 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/73(2017.01) G06T 5/00(2006.01) G06V 10/764(2022.01) G06K 9/62(2022.01) (54)发明名称 缺陷自分类方法及系统 (57)摘要 本发明提供一种缺陷自分类方法及系统， 用 于对晶圆上的缺陷进行自分类， 其中， 所述缺陷 自分类方法包括： 获取缺陷所在位置的图像信 息； 将所述图像信息转换为数字灰阶图像； 对所 述数字灰阶图像进行图形层次识别； 以及， 根据 所述图形层次识别的结果判断所述缺陷的杀伤 力大小， 并对所述缺陷进行分类。 本发明通过将 缺陷所在位置的图像信息转换为数字灰阶图像 来进行图形层次识别， 从而在无需引入芯片设计 文件(GDS 文件)的情况下判断所述缺陷的杀伤力 大小， 实现缺陷自分类 。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 114372969 A 2022.04.19 CN 114372969 A 1.一种缺陷自分类方法， 用于对晶圆上的缺陷进行自分类， 其特 征在于， 包括： 获取缺陷所在位置的图像信息； 将所述图像信息转换为数字灰阶图像； 对所述数字灰阶图像进行图形层次识别； 以及， 根据所述图形层次识别的结果判断所述 缺陷的杀伤力大小， 并对所述 缺陷进行分类。 2.如权利要求1所述的缺陷自分类方法， 其特征在于， 将所述图像信 息转换为数字灰阶 图像的过程包括： 对所述图像信息进行小像素网格化处理， 获取每个网格内的灰阶值， 从而获取所述数 字灰阶图像。 3.如权利要求2所述的缺陷自分类方法， 其特征在于， 对所述数字灰阶图像进行层次识 别的过程包括： 获取所述缺陷所在的缺陷图形层次及所述数字灰阶图像中包 含的两个背景图形层次。 4.如权利要求3所述的缺陷自分类方法， 其特征在于， 获取所述缺陷图形层次和所述背 景图形层次的过程包括： 统计所述数字灰阶图像中各个灰阶值对应的网格数量， 绘制所述灰阶值对应的网格数 量的变化曲线， 所述变化曲线包 含三个峰值； 将所述三个峰值对应的三个灰阶值中的最小值和最大值分别设置为第一中心值和第 二中心值； 在所述数字灰阶图形中设置若干个缺陷网格， 所述缺陷网格对应的灰阶值与 所述第一 中心值的差值绝对值小于或等于第一设定阈值， 所有所述缺陷网格构成所述缺陷图形层 次； 在所述数字灰阶图像中设置若干个第 一背景网格， 所述第 一背景网格对应的灰阶值与 所述第二中心值的差值绝对值小于或等于第二设定阈值， 所有所述第一背 景网格构成第一 背景图形层次； 以及， 将所述数字灰阶图像中剩余的所述网格设置为第 二背景网格， 所有所述第 二背景网格 构成第二背景图形层次。 5.如权利要求3所述的缺陷自分类方法， 其特征在于， 根据 所述图形层次识别的结果判 断所述缺陷的杀伤力大小的过程包括： 判断所述缺陷图形层次是否横跨不同的背景图形层次， 若是， 则所述缺陷图形层次对 应的缺陷的杀伤力大； 若否， 则所述 缺陷图形层次对应的缺陷的杀伤力小。 6.如权利要求5所述的缺陷自分类方法， 其特征在于， 对所述缺陷进行分类的过程包 括： 判断所述缺陷图形层次是否横跨不同的背景图形层次， 若是， 则所述缺陷图形层次对 应的缺陷为图形 上缺陷； 若否， 则所述 缺陷图形层次对应的缺陷为非图形 上缺陷。 7.如权利要求1～6中任一项所述的缺陷自分类方法， 其特征在于， 判断所述缺陷的杀 伤力大小， 并对所述 缺陷进行分类之后， 还 包括： 建立网格坐标系， 依次获取晶圆上 所有缺陷的位置坐标及缺陷类型； 根据所有所述 缺陷的位置坐标及缺陷类型绘制所述晶圆上不同类型缺陷的分布图形。 8.一种缺陷自分类系统， 其特 征在于， 包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114372969 A 2数据收集单元， 用于获取晶圆上所有缺陷的位置坐标及所述缺陷所在位置的图像信 息； 图像转换及识别单元， 用于将所述图像信息转换为数字灰阶图像， 并对所述数字灰阶 图像进行图形层次识别； 缺陷分类单 元， 用于判断所述 缺陷的杀伤力大小， 并对所述 缺陷进行分类。 9.如权利要求8所述的缺陷自分类系统， 其特征在于， 还包括UI界面， 用于输出所述图 像信息、 所述数字灰阶图像及所述晶圆上不同类型缺陷的分布图形。 10.如权利要求8所述的缺陷自分类系统， 其特征在于， 采用电子束观测机台获取缺陷 所在位置的图像信息 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114372969 A 3