(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222629423.2 (22)申请日 2022.10.08 (73)专利权人 武汉芯致半导体有限公司 地址 436000 湖北省鄂州市葛店开发区创 业服务中心 (72)发明人 赵红武　崔志刚　范磊　 (74)专利代理 机构 深圳信科专利代理事务所 (普通合伙) 44500 专利代理师 张琼 (51)Int.Cl. B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H05K 7/20(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体清洗设备的温控 装置 (57)摘要 本实用新型属于温控技术领域， 尤其为一种 半导体清洗设备的温控装置包括清洗箱， 所述清 洗箱的型腔内固定安装有清洗滚筒， 所述清洗滚 筒的型腔内固定安装有两个拨片， 所述清洗箱的 型腔内固定安装有M型加热棒， 所述清洗箱的底 部型腔内固定安装有散热片， 所述清洗箱的一侧 固定安装有温度显示器， 所述 温度显示器的一侧 固定安装有测温棒， 所述清洗箱的一侧开设有空 槽， 本实用新型可加热半导体清洗液， 使半导体 清洗液达到最佳的使用温度， 不仅能提高清洗效 率还能提高半导体清洗的净洁程度， 且加热棒为 M型加热效率高， 通过设有温度显示器可实时观 察到清洗 液的温度， 使清洗液的温度保持在最佳 使用状态。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 218014530 U 2022.12.13 CN 218014530 U 1.一种半导体清洗设备的温控装置， 包括清洗箱(1)， 其特征在于： 所述清洗箱(1)的型 腔内固定安装有清洗滚筒(2)， 所述清洗滚筒(2)的型腔内固定安装有两个拨片(3)， 所述清 洗箱(1)的型腔内固定安装有M型加热棒(7)， 所述清洗箱(1)的底部型腔内固定安装有散热 片(12)， 所述清洗箱(1)的一侧固定安装有温度显示器(6)， 所述 温度显示器(6)的一侧固定 安装有测温棒(9)， 所述清洗箱(1)的一侧开设有空槽(14)， 所述清洗箱(1)的一侧开设有测 温孔(13)， 所述清洗箱(1)的底部固定安装有 若干个支撑脚(4)。 2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述清洗箱 (1)的一侧固定安装有传动电机(17)， 所述传动电机(17)的轴端固定安装第二带轮(2 2)。 3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述M型加热 棒(7)的外表面固定安装有拉手(8)， 所述拉手(8)的上 下两侧开设有空槽 。 4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述清洗箱 (1)的一侧固定安装有若干个散热风扇(11)， 所述散热风扇(11)的一侧固定安装有固定件 (10)。 5.根据权利要求2所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述传动电机 (17)的外表 面固定安装有若干个电机固定板(18)， 若干个所述电机固定板(18)的一端均固 定安装有螺钉(21)。 6.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述清洗箱 (1)的一侧固定安装有第一带轮(15)， 所述第一带轮(15)的外表面固定安装有传动皮带 (16)。 7.根据权利要求2所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述第 二带轮 (22)的外表面固定安装有传动皮带(16)， 所述传动皮带(16)  的另一端固定安装在第一带 轮(15)的外表面。 8.根据权利要求4所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述固定件 (10)固定安装在支撑脚(4)的一侧， 所述固定件(10)的两侧均固定安装有螺钉(21)。 9.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述清洗箱 (1)的底部固定安装有若干个支撑脚(4)， 若干个所述支撑脚(4)的底部均固定安装有若干 个橡胶垫(5)。 10.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备的温控装置， 其特征在于： 所述清洗箱 (1)的一侧固定安装有 进水口(19)， 所述清洗箱(1)的一侧固定安装有出 水口(20)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218014530 U 2一种半导体清洗设 备的温控装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于温控技 术领域， 具体涉及一种半导体清洗设备的温控 装置。 背景技术 [0002]半导体， 指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。 半导体在收音机、 电视 机以及测温上有着广泛的应用， 如二极管就是采用半导体制作的器件， 无论从科技或是经 济发展的角度来看， 半导体的重要性都是非常巨大的。 [0003]目前， 在半导体的清洗工艺中， 对半导体清洗液温度都有严格的要求， 清洗液的温 度过高或过低 都会对清洗效果及半导体本身产生严重的影响， 当清洗液 的温度过高时， 可 能会对清洗液中的半导体造成损坏， 当温度过低时清洗液对半导体的清洗效果可能会不理 想， 且不同的半导体需要在不同的温度下清洗才能使效果达到最佳， 基于此， 需要对上述问 题进行改进。 实用新型内容 [0004]为解决现有技术中存在的上述问题， 本实用新型提供了一种半导体清洗设备的温 控装置， 具有可加热清洗液， 且当清洗液的温度过高时可降温的特点。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 包括清洗箱， 所述清洗箱的型腔 内固定安装有清洗滚筒， 所述清洗滚筒的型腔 内固定安装有两个拨片， 所述清洗箱的型腔 内固定安装有M型加热棒， 所述清洗箱的底部型腔内固定安装有散热片， 所述清洗箱的一侧 固定安装有温度显示器， 所述温度显示器的一侧固定安装有测温棒， 所述清洗箱的一侧 开 设有空槽， 所述清洗箱的一侧开设有测温孔， 所述清洗箱的底部固定安装有 若干个支撑脚。 [0006]作为本实用新型的一种半导体清洗设备的温控装置优选技术方案， 所述清洗箱的 一侧固定安装有传动电机， 所述传动电机的轴端固定安装第二带轮。 [0007]作为本实用新型的一种半导体清洗设备的温控装置优选技术方案， 所述M型加热 棒的外表面固定安装有拉手， 所述拉手的上 下两侧开设有空槽 。 [0008]作为本实用新型的一种半导体清洗设备的温控装置优选技术方案， 所述清洗箱的 一侧固定安装有 若干个散热风扇， 所述散热风扇的一侧固定安装有固定件。 [0009]作为本实用新型的一种半导体清洗设备的温控装置优选技术方案， 所述传动电机 的外表面固定安装有若干个电机固定板， 若干个所述电机固定板的一端均固定安装有螺 钉。 [0010]作为本实用新型的一种半导体清洗设备的温控装置优选技术方案， 所述清洗箱的 一侧固定安装有第一带轮， 所述第一带轮的外表面固定安装有传动皮带。 [0011]作为本实用新型的一种半导体清洗设备的温控装置优选技术方案， 所述第二带轮 的外表面固定安装有传动皮带， 所述传动皮带的另一端固定安装在第一传动轮的外表面。 [0012]作为本实用新型的一种半导体清洗设备的温控装置优选技术方案， 所述固定件固 定安装在支撑脚的一侧， 所述固定件的两侧均固定安装有螺钉。说　明　书 1/4 页 3 CN 218014530 U 3