(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221847288.2 (22)申请日 2022.07.18 (73)专利权人 北京市塑料研究所有限公司 地址 100009 北京市西城区旧鼓楼大街 47 号 (72)发明人 马南　朱道峰　刘哲伟　李海楠　 要博卿　李佳　张小永　张宝庆　 (74)专利代理 机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 专利代理师 董娜 (51)Int.Cl. B65D 25/10(2006.01) B65D 25/02(2006.01) B65D 43/16(2006.01) B65D 85/48(2006.01) (54)实用新型名称 晶圆包装盒及晶圆储运结构 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆技术领域， 提供一种晶 圆包装盒及晶圆储运结构， 该晶圆包装盒包括： 壳体， 壳体用于容置晶圆承 载器； 盖体， 盖体与壳 体可转动地连接； 其中， 壳体上设置有第一卡止 件， 盖体上设置有第二卡止件； 扣装件， 扣装件扣 装在第一卡止件和第二卡止件上。 在该晶圆包装 盒中， 通过在壳体上设置第一卡止件， 在盖体上 设置第二卡止件， 并单独设置扣装件， 形成扣装 结构。 可以通过将扣装件扣装在第一卡止件和第 二卡止件上， 扣合该晶圆包装盒。 相应的， 通过将 扣装件从第一卡止件和第二卡止件 上分离， 打开 该晶圆包装盒。 这种晶圆包装盒在扣合或打开过 程中无需任意零件发生变形， 可以减少该晶圆包 装盒经长期使用出现变形或损坏的情况。 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 CN 217946045 U 2022.12.02 CN 217946045 U 1.一种晶圆包 装盒， 其特 征在于， 包括： 壳体， 所述壳体用于容置晶圆承载器； 盖体， 所述盖体与所述壳体可转动地连接； 其中， 所述壳体上设置有第一 卡止件， 所述盖体上设置有第二 卡止件； 扣装件， 所述扣装 件扣装在所述第一 卡止件和所述第二 卡止件上。 2.根据权利要求1所述的晶圆包装盒， 其特征在于， 在所述盖体盖合在所述壳体上的状 态下， 所述第二卡止件承托在所述第一卡止件上， 所述扣装件可滑动地扣装在所述第一卡 止件和所述第二 卡止件上。 3.根据权利要求2所述的晶圆包装盒， 其特征在于， 所述第 一卡止件由所述壳体的顶边 缘横向向外凸出， 所述第二 卡止件由所述盖体的底边 缘横向向外凸出。 4.根据权利要求3所述的晶圆包装盒， 其特征在于， 所述第一卡止件上成型有下滑槽， 所述扣装 件上成型有可卡入所述下滑槽的下卡条； 所述第二 卡止件上成型有上滑槽， 所述扣装 件上成型有可卡入所述上滑槽的上卡条。 5.根据权利要求2至4任一项所述的晶圆包装盒， 其特征在于， 所述第一卡止件的顶部 连接有支撑板， 且所述支撑板与所述第二卡止件的顶部平齐， 以使所述扣装件能够从所述 第一卡止件和所述第二 卡止件上滑动至所述第一 卡止件和所述支撑 板上。 6.根据权利要求5所述的晶圆包装盒， 其特征在于， 所述支撑板的端部设置有卡止部， 在所述扣装件处于所述第一卡止件和所述支撑板上的状态下， 所述扣装件与所述卡止部相 抵接。 7.根据权利要求5所述的晶圆包装盒， 其特征在于， 所述支撑板的侧壁上设置有限位 筋， 所述限位筋将所述支撑 板的侧壁分隔出 所述扣装 件的扣装位和打开 位。 8.根据权利要求1所述的晶圆包装盒， 其特征在于， 所述盖体的内顶壁上设置有一对限 位条， 且所述限位条与所述盖体为 一体成型 结构。 9.根据权利要求8所述的 晶圆包装盒， 其特 征在于， 所述限位条的截面 为弧形。 10.一种晶圆储运结构， 其特征在于， 包括晶圆承载器以及权利要求1至9任一项所述的 晶圆包装盒； 所述晶圆承载器用于承载晶圆并且设置在所述晶圆包 装盒的壳体中。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217946045 U 2晶圆包装 盒及晶圆储运 结构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆技 术领域， 尤其涉及一种晶圆包 装盒及晶圆储运结构。 背景技术 [0002]晶圆是指生产集成电路所用的载体， 例如， 可以是指单晶硅圆片。 晶圆一般为薄圆 片， 可以被放置在晶圆承载器中， 便于对晶圆进行清洗。 在晶圆的储存和运输过程中， 可以 将承载有晶圆的晶圆承载器放入相对应尺寸的包装盒内， 以便对晶圆进行储运。 采用该包 装盒储运晶圆， 可以减少摩擦， 降低污染晶圆的风险， 使产品得到更洁净的安全保护， 同时 更便于运输。 [0003]目前常用的晶圆包装 盒通常包括壳体和盖体， 并在壳体和盖体之间采用卡扣式结 构进行开合， 例如， 可以在盖体上设置向外且向下凸出的固定式搭扣， 搭扣内侧面为斜面， 且搭扣上有卡口。 壳体上设置有向外的凸起。 合盖时， 手动下压盖体， 搭扣在 凸起的支撑下 向外产生一定形变， 从而使凸起沿搭扣的内侧面滑入卡口内。 开盖时， 也需要手动向外掰开 搭扣。 [0004]上述的晶圆包装盒的卡扣式在开合时， 均 需要搭扣产生一定形变， 长期使用容易 出现包装盒变形甚至损坏的情况。 实用新型内容 [0005]本实用新型提供一种晶圆包装 盒及晶圆储运结构， 用以解决现有技术中晶圆包装 盒的卡扣式在开合时， 均需要搭扣产生一定形变， 长期使用容易出现包装盒变形甚至损坏 的情况的缺陷， 实现晶圆包装盒在扣合或打开过程中无需任意零件发生变形， 可以减少该 晶圆包装盒经长期使用出现变形或损坏的情况。 [0006]本实用新型提供了一种晶圆包 装盒， 包括： [0007]壳体， 所述壳体用于容置晶圆承载器； [0008]盖体， 所述盖体与所述壳体可转动地连接； [0009]其中， 所述壳体上设置有第一 卡止件， 所述盖体上设置有第二 卡止件； [0010]扣装件， 所述扣装 件扣装在所述第一 卡止件和所述第二 卡止件上。 [0011]根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒， 在所述盖体盖合在所述壳体上的状态 下， 所述第二卡止件承托在所述第一卡止件上， 所述扣装件可滑动地扣装在所述第一卡止 件和所述第二 卡止件上。 [0012]根据本实用新型提供的一种晶圆包装 盒， 所述第一卡止件由所述壳体的顶边缘横 向向外凸出， 所述第二 卡止件由所述盖体的底边 缘横向向外凸出。 [0013]根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒， 所述第一卡止件上成型有下滑槽， 所述 扣装件上成型有可卡入所述下滑槽的下卡条； [0014]所述第二卡止件上成型有上滑槽， 所述扣装件上成型有可卡入所述上滑槽的上卡 条。说　明　书 1/7 页 3 CN 217946045 U 3