(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122998292.0 (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 东莞华芯自动化科技有限公司 地址 523000 广东省东莞 市石排镇庙边王 兴龙五路东 街三巷2号 (72)发明人 孙杨杨　 (51)Int.Cl. F26B 9/10(2006.01) F26B 23/10(2006.01) F26B 5/04(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/18(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于晶振烘烤的多层高真空烤箱 (57)摘要 本实用新型涉及一种用于晶振烘烤的多层 高真空烤箱， 其包括密闭箱 体和设置在密闭箱体 内的烘烤架， 烘烤架包括若干个上下间隔叠置的 料盘托板， 相邻的料盘托板的两侧边缘设置间隔 导热条； 于烘烤架的两侧分别安装有加热机构， 加热机构 包括导热侧板、 发热管、 冷却水管。 本实 用新型简化了烘烤架与加热机构的结构设计， 使 其组装更为方便、 成本更低， 而且利用导热侧板、 间隔导热条和料盘托板以及料盘的高效导热性 能， 能快速使热量均匀传递到烘烤架各处， 确保 内部各处温度的均匀性和稳定性， 当达到设定温 度时烘烤完产品后， 利用冷却水管快速使导热侧 板迅速降温冷却， 进而带走料盘托板及料盘的热 量； 本实用新型设备成本大幅降低， 性价比极高、 更节能环保。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216282475 U 2022.04.12 CN 216282475 U 1.一种用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其包括具有箱门的密闭箱体和设置在密闭箱 体内的烘烤架， 其特征在于： 所述烘烤架包括若干个上下间隔叠置的料盘托板， 相 邻的料盘 托板的两侧边缘设置间隔导热条， 烘烤架还包括数条纵向贯穿所述料盘托板边缘和间隔导 热条的串接立杆； 于所述烘烤架的两侧分别安装有加热机构， 所述加热机构包括与所述料 盘托板和间隔导热条的侧面接触安装的导热侧板， 且导热侧板的内侧表面设有若干组发热 管通槽， 每组发热管通槽 分别穿设有发热管， 于导热侧板的外侧表面设有 水冷管凹槽， 水冷 管凹槽内铺设有冷却水 管。 2.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其特征在于： 于导热侧板的 外侧表面还安装有侧盖 板。 3.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其特征在于： 所述发热管呈 “U”形， 每个发热管两端设有接线 端子。 4.根据权利要求1或3所述的用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其特征在于： 所述密闭 箱体的顶部设有供发热 管的导线穿出的导线密封 接头和感温器密封 接头。 5.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其特征在于： 所述冷却水管 呈连续迂回曲折状， 且冷却水管的进水端和出水端均朝下设置并分别穿出密闭箱体的底 板。 6.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其特征在于： 所述密闭箱体 的一侧壁设有真空泵接口并连接有真空泵。 7.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其特征在于： 所述烘烤架底 部连接有下支撑脚和下隔板， 烘烤架的顶部连接有上支撑脚和上隔板 。 8.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其特征在于： 所述密闭箱体 安装在一立式背板上， 密闭箱体的后部和立式背板具有相通的后开口， 于该后开口处设有 升降密封门， 升降密封门包括密封门板、 与密封门板外表面连接的门压板、 与门压板连接并 驱动它的压板气缸和压板导向杆、 用于安装压板气缸 的气缸承载板、 用于安装气缸承载板 的立式轨道板、 以及驱动 气缸承载板沿立式轨道板升降运动的升降气缸， 所述立式轨道板、 升降气缸均安装在立式背板上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216282475 U 2一种用于晶振烘烤的多层高真空烤箱 技术领域： [0001]本实用新型 涉及烘干设备技 术领域， 特指一种用于晶振烘烤的多层高真空烤箱。 背景技术： [0002]贴片式石英谐振器等类似贴片式结构的产品在生产过程， 需要使用真空烤箱进行 烘干作业， 以使封装 更均匀全面。 真空烤箱是一种采用二面加热的热辐射方式的烤箱， 一般 采用加热管进行发热， 通过真空压力以及高温加热装置的配合下， 对内部进行高温烘干脱 水。 传统的真空烤箱内部的加热管设置在真空烤箱箱体上， 从箱体内部四周对放置在其中 的产品进 行加热烘干脱 水， 但是加热管仅设置在箱体内壁上， 当箱体内部放置较多产品时， 无法 做到快 速 彻 底 烘干 脱水 ， 影响 产品 后续 加工 使 用。 也 有 如中国 专 利号 CN201821727123.5所公开的 《真空烤箱》 ， 其为了提高烘干效率， 采用间隔层叠的方式在每 个托架之 间均设置了加热管， 显然这种结构方式虽然提高了烘干效率， 但是结构过于复杂， 组装不便而且成本 很高， 也不便于料盘的取放。 实用新型内容： [0003]本实用新型的目的是克服现有技术的上述不足之处， 提供一种用于晶振烘烤的多 层高真空烤箱。 [0004]本实用新型采用的技术方案是： 一种用于 晶振烘烤的多层高真空烤箱， 其包括具 有箱门的密闭箱体和设置在密闭箱体内的烘烤架， 所述烘烤架包括若干个上下间隔叠置的 料盘托板， 相邻的料盘托板的两侧 边缘设置间隔导热条， 烘烤架还包括数条纵向贯穿所述 料盘托板边缘和间隔导热条 的串接立杆； 于所述烘烤架的两侧分别安装有加热机构， 所述 加热机构包括与所述料盘托板和间隔导热条的侧面接触安装的导热侧板， 且导热侧板的内 侧表面设有若干组发热管通槽， 每组发热管通槽分别穿设有发热管， 于导热侧板的外侧表 面设有水冷管凹槽， 水冷管凹槽内铺设有冷却水 管。 [0005]于导热侧板的外侧表面还安装有侧盖 板。 [0006]所述发热 管呈“U”形， 对应地， 每 个发热管两端设有接线 端子。 [0007]所述密闭箱体的顶部设有供发热管的导线穿出的导线密封接头和感温器密封接 头。 [0008]所述冷却水管呈连续迂回曲折状， 且冷却水管的进水端和出水端均朝下设置并分 别穿出密闭箱体的底板 。 [0009]所述密闭箱体的一侧壁设有真空泵接口并连接有真空泵。 [0010]所述烘烤架底部连接有下支撑脚和下隔板， 烘烤架的顶部连接有上支撑脚和上隔 板。 [0011]所述密闭箱体安装在一立式背板上， 密闭箱体的后部和立式背板具有相通的后开 口， 于该后开口处设有升降密封门， 升降密封门包括密封门板、 与密封门板外表面连接的门 压板、 与门压板连接并驱动它的压板气缸和压板导向杆、 用于安装压板气缸的气缸承载板、说　明　书 1/3 页 3 CN 216282475 U 3